Remalytics verfügt über ein modernes, bildgebendes EDX-Analysesystem.
Ein elektrischer Strom von etwa 2-3 Ampère Durch den Elektronenbeschuss wird u.a. nieder-
bringt einen V- förmig gebogenen Wolfram- energetische Röntgen- Strahlung erzeugt, deren
draht von ca. 0,1mm Dicke auf etwa 2700°C. Energie von Ordnungs-Zahl und Dichte der ange-
An diese Anordnung wird unter Vakuum eine regten Elemente der Probe abhängt.
hohe negative Gleichspannung von ca. 20kV
angelegt. In einem tiefgekühlten, hochreinen Siliziumchip
Die aus dem Draht austretenden Elektronen erzeugt sie proportionale Spannungsimpulse, die
beschleunigen in Richtung Anode auf etwa zunächst verstärkt und mit Hilfe mathematischer
2/3 der Lichtgeschwindigkeit c, werden mit Standardverfahren in Element-Spektren umgesetzt
Hilfe von Magnet-Spulen fokussiert und an- werden (EDX-Analyse).
schließend rasternd über die Probe geführt Aus den erhaltenen Intensitäten lassen sich zu-
(Analogie zur Bildröhre). sätzlich die quantitativen Anteile berechnen.
Die Methode liefert Gewichts- und Atom-Prozente
Das typische Graubild der Aufnahmen ent- aller Elemente ab Bor.
steht durch den Nachweis von aus der Pro-
be herausgeschlagenen Sekundär-Elektronen Vorteile:
die von einem Detektor in Bildsignale um- - schnell
gesetzt werden (SE). - zerstörungsfrei
Die niederenergetischen Elektronen bilden - minimaler Einsatz von Chemikalien
die Topographie der Probe ab. - zuverlässig
In Abhängigkeit der Probendichte sind zu-
dem sog. rückgestreute Elektronen mittels Durch Punkt-, Flächen- und Partikel-Messungen
eines BE-Detektors erfassbar. Es gilt: sind Zuordnungen in Stoffklassen und deren An-
Je 'heller' die Probe, je höher die Dichte. teil in der Gesamtprobe bestimmbar.
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Die Abbildung zeigt den prinzipiellen Aufbau und die Funktionsweise der Analytik.
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